全球半导体产业正面临高速发展与永续经营的双重挑战。随着 AI、5G、自动驾驶等技术应用的扩展，对于高效能芯片的需求不断攀升，使得IC 设计、晶圆加工（Wafer Fabrication）、测试与封装（IC Test & Package）等关键流程变得更加重要。其中，晶圆制程需要控制在极高的环境条件，例如无尘室的空调系统、制氮系统、气体与冷却系统的管理等，都对工厂的运行成本与碳排放造成影响。因此，如何透过精准监测与智慧化管理来提升生产效率、降低能耗，已成为半导体业关注的核心议题。
在晶圆制造的过程中，单晶硅制造、晶圆加工、洗净、配线，再到测试中，涉及多个高精度、高洁净度的环境要求，传感器技术在监测上发挥着关键作用。
1. 无尘室环境监测
晶圆制程需要在严格受控的环境中进行，无尘室内的温度、湿度、差压与流速直接影响制程稳定性，同时也影响晶圆质量。透过 THS30X 系列 多功能温湿度传感器，提供高精度、多种安装方式的选择，可确保环境条件维持在最佳范围内；PMD330 差压传感器采用压阻式差压传感器，非导通结构，压力端口之间不流通，可用于监测洁净区域的气流方向，确保污染物不进入关键制程区域；FTS34 热线式风速传感器则可监控层流气流的稳定性，透过侦测低至0.2 m/s的微小风速，可防止微粒污染。
>>无尘室环境量测首选；eyc-tech传感器
2. 冷却与空调系统节能
晶圆制造设备产生大量热能，需要高效冷却系统来维持温度稳定。透过 FTC05 热线式流量开关与THS307 多功能温湿度传感器(户外型) 监测冷却水循环效率，调节空调冷能输出大小，可实现精准控制，避免能源浪费。此外，搭配使用 DPM04 瞬间量累积量显示控制器可提供实时瞬间量及累积量的数据，帮助厂商优化空调与制冷系统，降低整体能源消耗。
>>精准监控 智慧节能：HVAC系统优化与节能解决方案
3. 晶圆氧化镀膜
在晶圆洗净过后，为了避免颗粒及其他异物再次污染晶圆，将在芯片表面进行镀膜。 镀膜又分成化学气相沉积法 (CVD) 和物理气相沉积法 (PVD) 两种，其中手套箱是大多会用来操作镀膜的系统。
系统包含物理隔绝真空腔体、进气及出气的循环气体净化设备、调节水/氧浓度的干燥装置、和实时控制的显示设备所组成。 其严苛的环境条件，能保护物料不受污染，有助于维持及提升精密工业制程的产品良率。
例如使用惰性气体的 氮气手套箱，可用来处理环境敏感性材料。
精密制程上的手套箱系统，腔体内部的水/氧含量浓度的维持率是关键的技术指标，其中常见的水/氧含量浓度要求为小于 1 PPM、3 PPM 及 5 PPM，是制程上最为重要的要求条件，其浓度指标是否合乎标准，是直接影响产品良率的关键。所以建议在手套箱系统内部腔体加装 THS88MAX 工业级低湿露点传感器，以侦测内腔环境的水含量浓度，一般对于传感器的要求为 0~1000PPM，能让业主自由设定，以达到无水无氧的高质量稳定的制程环境。
1. 制氮系统与气体供应监测
惰性气体 - 氮气（N₂）广泛应用于晶圆制造过程，如蚀刻、镀膜与封装等关键步骤，可避免金属氧化的问题。专用于压缩空气系统的FTM06D 热线式风速风量传感器可实时监测氮气供应量，确保气体稳定供应；P064 显示型差压传感器则可监测气体管线压力，避免异常情况影响生产；THS88MAX 露点传感器套件具有即插即用的便利性，还可直接检视量测数据，则可确保氮气的干燥程度，避免水分影响制程质量。
2. 化学品与废气排放监测
晶圆制造涉及多种高纯度化学药剂，如蚀刻液、光阻剂等，其废气需经过严格处理后排放。
FTM94/95 工业级高精度热线式风速风量传感器，不仅具备 极高精度，还能 防尘、耐温、耐压，是专为严苛粉尘环境设计的风速风量传感器。
此传感器可监测 挥发性有机化合物（VOC）及其他有害气体浓度，确保废气处理设备运行正常，并符合 环保法规要求。
>>eyc-tech 工业废气处理中的传感器应用与碳排放管理
半导体产业的发展对环境控制与能源管理提出更高的要求，而传感器技术则是提升制程质量与稳定性的重要工具。透过在无尘室、制氮系统、冷却设备与废气处理等环节的精准监测，可有效提高生产效率、降低运营成本，并朝向更永续的制造模式迈进。未来，随着智慧工厂与 AIoT 技术的进步，传感器在半导体制程中的应用将更加深入，为产业带来更高效、绿色的生产解决方案。
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| 特色：适用于轻工业，精度高，多种安装方式 传感器种类：电容式湿度传感器 & Pt 100 A级 量测范围：-40...+80°C / 0 ... 100%RH 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 精度：±0.2°C / ±1.8%RH 防护等级：IP65 | 特色：适用于医院及无尘室监测、量测范围广 量测组件：压阻式差压传感器，非导通 量测范围：±50 ... ±10000 pa 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 精度：±2.0% F.S. 防护等级：IP65 | 特色：适用于工业级应用，可量测液体差压 传感器种类：单晶硅差压传感器 量测范围：0.1 ... 25 bar 输出：4 ... 20 mA+HART 精度：0.075 ... 0.2% 防护等级：IP65 |
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| 特色：适用于油、水或其他流体之监控，也可作为液位计使用 传感器种类：电阻温度传感器 量测范围：1 ... 200 cm/s(水)、3 ... 300 cm/s(油)、6 ... 20 m/s(气体) 输出：PNP / NPN / Relay 防护等级：IP65(Option IP67) | 特色：适用于空压系统、工业干燥系统 传感器种类：电容式湿度传感器 & Pt100 露点规划范围：-80 ... +20 dp°C 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 精度：±1 ... ±2 dp°C 防护等级：IP65(本体) / IP20(测头) | 特色：2" LCD屏幕，能搭配气体/液体流量传感器，显示瞬间及累积量，具RS-485通信及Relay 输出功能 显示值范围：瞬间量：5位，累积量：8位 输入：电流 / 电压 / Frequency / Pulse 输出：电流 / 电压 / Relay / RS-485 精度：±0.1% F.S. ±1 digit 防护等级：IP65 (前面板) |
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| 特色：适用于轻工业，精度高、稳定性佳 传感器种类：热线式质量流量传感器 量测范围：0 ... 40 m/s 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 精度：±2% F.S. 防护等级：IP54 | 特色：适用于干燥压缩空气系统 传感器种类：热线式质量流量传感器 量测范围：0 ... 120 Nm/s 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Frequency / Pulse 精度：±1.5% F.S. 防护等级：IP65 | 特色：适用于工业级应用，可测大风量，耐高温高压、粉尘和腐蚀 传感器种类：Pt20 / Pt300(风速) / Pt1000(温度) 量测范围：0 ... 120 Nm/s 输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Impulse 精度：±1.5% F.S. 防护等级：IP67(测棒) / IP65(本体) |
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